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AEROTECH直线气浮轴承平台
ABL1000系列
 为高要求的光学对准和装配专门设计
直线编码器反馈可提供2 nm的分辨率
用Automation 3200控制系统可做到
1纳米闭环封闭分辨率
预加负载的气浮轴承
先进的PCI总线控制器
低噪音直线放大器
全部运动部件灵接触设计
ABL2000系列
 预加气浮轴承
为了卓越的速度稳定性而设计
行程达1.2米
直线编码器或激光干涉仪反馈
完全非接触设计
ABL8000系列
 在所有的气浮轴承表面度预加负载
完整的XY
子系统包含花岗岩台面
行程达1米
直线编码器或激光干涉仪反馈
在重负载下保持高刚性和优异的几何特性